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        半導體拋光液 淺溝槽隔離拋光液 STI拋光液

        產品分類: 拋光液    
          產品名稱:淺槽隔離拋光液/STI拋光液/淺溝槽隔離化學機械拋光液
          磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
          磨料粒徑:10-150nm/全粒徑可定制
          訂購熱線:17706168670    
          精密陶瓷拋光液 CMP納米級拋光液
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          吉致電子·精密陶瓷件拋光液·半導體拋光液
          產品名稱:氧化鋯拋光液/氧化鋁拋光液/氮化硅拋光液/氮化鋁拋光液
          產品特點:適用于碳化物、氮化物、氧化物和硼化物各精密陶瓷件的鏡面拋光
          SiC碳化硅襯底研磨拋光產品
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          吉致電子·碳化硅研磨拋光·半導體晶圓拋光
          產品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅SIC研磨墊/Sic精拋墊
          產品特點:Politex拋光墊FUJIBO拋光墊國產替代
          半導體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
          半導體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
          產品名稱:鈮酸鋰晶體拋光液/鈮酸鋰拋光漿料/LN拋光液
          磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
          磨料粒徑:專利化學配方/可定制

            淺槽隔離CMP拋光液·參數吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

            產品名稱:淺槽隔離拋光液/STI Slurry拋光液/淺溝槽隔離化學機械拋光液

            產品簡介:STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。

            具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調,低缺陷等特性??蓱糜谶壿嬓酒约?D NAND和DRAM芯片等量產使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。

            適用范圍:

            單晶硅、多晶硅的研磨拋光,存儲器制程和背照式傳感器(BSI)制程等??啥ㄖ七x擇穩定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優點。BSI拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。涵蓋TSV銅/阻擋層Slurry,TSV晶背銅/介質層拋Slurry、TSV晶背硅Slurry、TSV晶背硅/銅Slurry等。具有高去除速率、選擇比可調等優點。以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等。

            吉致電子淺槽隔離拋光液 STI Slurry特點:

            1.分散性好。

            2.粒徑分布廣泛:10-150nm。

            3.高純度,有效減小對電子類產品的沾污。

            4.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。

            5.PH、粒徑、穩定離子等可以根據客戶定制(10-150 nm)。

            6.經特殊工藝合成的化學機械拋光液,納米顆粒呈球形,單分散,大小均勻,粒徑分布窄,可獲得高質量的拋光精度。

            拋光過程中具有:

            1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。(可以生產150 nm)。

            2.高平坦度加工,吉致氧化硅精拋液是利用SiO2的膠體粒子,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。

            拋光過程后具有:

            1.精度可以達到納米

            2.劃傷和挖傷可以達到0/0

            吉致電子STI拋光液使用方法:

            1.可根據拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。

            2.稀釋后,粗拋時調節PH11左右,精拋時調節PH9.5左右。pH調節可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分攪拌下慢慢加入。

            3.循環拋光可以用原液。

            吉致電子STI拋光液儲存方法:

            1.貯存時應避免曝曬,貯存溫度為5-35℃

            2.低于0℃以上儲存,防止結冰,在無度以下因產生不可再分散結塊而失效。

            3.避免敞口長期與空氣接觸。

            吉致電子STI拋光液價格:

            吉致電子的淺槽隔離拋光液(STI Slurry)生產技術是引進國外生產技術和設備,特殊化學配方制備而成。吉致電子拋光液品質可以媲美進口同類產品。

            本土化生產的優勢使吉致電子CMP拋光液產品交貨周期快,品質好,拋光液價格實惠親民。

            吉致電子研發團隊--15年經驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

            吉致電子 拋光液研發團隊

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