在生產藍寶石襯底的時候產生裂痕和崩邊現象的比例比較高，占總比的5%-8%。我國藍寶石批量生產的技術還很不成熟，切割完的藍寶石晶片有很深的加工痕跡，拋光后易形成很深的麻坑或劃傷。因此需要通過CMP研磨拋光技術來達到工件平坦度，拋光過程中影響拋光質量的因素有很多，如藍寶石拋光液的組分和PH值、壓力、溫度、流量、轉速和拋光墊的質量等。

  藍寶石晶圓的拋光需要對拋光液材質有很高的要求，磨料太軟會導致拋光時間過長而拋光效果不理想。

目前拋藍寶石合適的是鉆石拋光液，鉆石拋光液磨料是采用金剛石為原料，有很高的硬度，搭配藍寶石拋光墊有很快的拋光速率。如果對拋光光良度有很高的要求可以在選用吉致電子硅溶膠拋光液進行精拋。

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